温度、清洁度对三坐标测量机的影响不言而喻，但湿度这一因素却常常被忽视。在实验室或厂房中使用三坐标测量机进行测量时，室内湿度的控制十分必要！否则，湿度过高或过低都会对仪器的检测精度造成误差，甚至对仪器的使用寿命产生影响。
一般情况下，存放或使用三坐标测量机对其环境的湿度要求控制在45%-60%RH是最为适宜的；如果室内湿度过大，则容易造成仪器的电子元器件的短路和氧化生锈，影响测量机的使用寿命；如果室内湿度过小，则会对测量精度造成影响，如使用花岗石的三坐标测量机中，湿度过小，会严重影响花岗石的吸水性，造成花岗石变形。
室内温度适中控制在以上所要求的最适合的范围内，则要采取一些措施来调整室内湿度，如使用干燥剂，三坐标检测室除湿机等设备来调节。
补：三坐标测量机其他使用条件要求
项目 | 技术要求 |
三坐标测量机清洁度
| 洁净、无尘
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三坐标测量机正常工作温度
| 20±2℃
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三坐标测量机检定温度要求
| 20±1℃
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三坐标温度梯度
| 0.5℃/h 2℃/24h 0.5℃/m
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三坐标测量机湿度要求
| 相对湿度45%-60% 气源湿度<15%
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三坐标振动要求 | 振动频率≤10Hz时，振幅≤1μm 10Hz<振动频率≤30Hz时，振幅≤0.5μm 振动频率>30Hz时，振幅≤3μm
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三坐标供气流量要求
| >160L/min
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三次元测量机供气压力要求
| 6-10bar
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三坐标测量机气源质量要求
| 固体颗粒：直径≤15μm，浓度≤10mg/ m3；含油量：5mg/ m3；含水量：6g/ m3；
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三次元测量机电源要求
| AC220V，50Hz，1KVA
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三坐标安装环境配套要求
| 具备独立可靠的接地系统，接地电阻小于4Ω |
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